一、潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。
「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。
潔凈室主要作用在于控制產(chǎn)品所接觸空氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。
二、潔凈室的分類
1、百級(jí)潔凈間亂流式(Turbulent Flow)：
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室末端高效過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)：1,000-100,000級(jí)。
2、百級(jí)潔凈間層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%的高效過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為 1~100級(jí)。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以高效過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高的潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。
3、復(fù)合式(Mixed Type)：
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。